防止残留液体滴落的装置_doc

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(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明

(10)申请公布号

CN104624430B

(43)申请公布日 2019.05.17(21)申请号CN201310566899.9

(22)申请日2013.11.14

(71)申请人盛美半导体设备(上海)有限公司

地址201203 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号第4幢

(72)发明人代迎伟;金一诺;王坚;王晖

(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司

代理人陆嘉

(51)Int.CI

权利要求说明书说明书幅图(54)发明名称

防止残留液体滴落的装置

(57)摘要

本发明揭示了一种防止残留液体滴落的装

置,包括:管道、腔室、隔膜、柱塞及气缸。管

道具有进液口和出液口;腔室与管道连通;隔膜

设置在腔室与管道的连接处,隔膜将腔室与管道

隔开;柱塞设置在腔室内,柱塞与隔膜之间形成

密封空间;气缸与柱塞连接,气缸能够带动柱塞

在腔室内运动,以改变柱塞与隔膜之间形成的密

封空间的体积。本发明通过设置腔室、隔膜、柱

塞及气缸,当供液结束后,气缸带动柱塞运动,