专用RFID并行晶圆测试系统及验证方法_doc

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(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明

(10)申请公布号

CN106952838B

(43)申请公布日 2020.04.07(21)申请号CN201710060578.X

(22)申请日2017.01.25

(71)申请人南通大学

地址226000 江苏省南通市啬园路9号

(72)发明人景为平;范巍

(74)专利代理机构南京汇盛专利商标事务所(普通合伙)

代理人吴静安

(51)Int.CI

权利要求说明书说明书幅图(54)发明名称

专用RFID并行晶圆测试系统及验证方法

(57)摘要

本发明的专用RFID并行晶圆测试系统,

基于ISO/IEC 15693协议,包括:设有第一天线的

16通道垂直探针卡,与被测芯片物理接触,输出

被测芯片的反馈信号;含有FPGA的测试电路,测

试电路内设有第二天线,FPGA用内部时钟产生数

字基带信号和载频信号,将载频信号进行调制后

输出;第二天线接收被测芯片的反馈信号,并将

反馈信号进行处理后输出对应的控制指令;上位

机验证平台,接收结果数据进行显示、储存,并