确定干法蚀刻工艺的后热处理的工艺完成的系统和方法_doc

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(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号

CN108701612A

(43)申请公布日 2018.10.23(21)申请号CN201780014542.6

(22)申请日2017.01.31

(71)申请人东京毅力科创株式会社

地址日本东京都

(72)发明人雅各布·泰桑;艾兰·莫斯登

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司

代理人蔡胜有

(51)Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

确定干法蚀刻工艺的后热处理的工艺完成的系统和方法

(57)摘要

提供了一种用于确定和利用干法蚀刻工艺

的PHT(PHT)的工艺完成的方法,所述方法包括:

在处理室中提供基底,所述基底具有膜层和下

层,所述膜层具有一个或更多个区域;进行干法

蚀刻工艺以去除所述膜层或所述膜层的区域,所

述干法蚀刻工艺产生副产物层;以及测量所述副

产物层的一个或更多个特性;基于所测量的所述

副产物层的一个或更多个特性来调节PHT工艺;

进行PHT工艺以去除所述基底上的所述副产物