（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（10）申请公布号

CN108701612A

（43）申请公布日 2018.10.23（21）申请号CN201780014542.6

（22）申请日2017.01.31

（71）申请人东京毅力科创株式会社

地址日本东京都

（72）发明人雅各布·泰桑;艾兰·莫斯登

（74）专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司

代理人蔡胜有

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

确定干法蚀刻工艺的后热处理的工艺完成的系统和方法

（57）摘要

提供了一种用于确定和利用干法蚀刻工艺

的PHT(PHT)的工艺完成的方法，所述方法包括：

在处理室中提供基底，所述基底具有膜层和下

层，所述膜层具有一个或更多个区域；进行干法

蚀刻工艺以去除所述膜层或所述膜层的区域，所

述干法蚀刻工艺产生副产物层；以及测量所述副

产物层的一个或更多个特性；基于所测量的所述

副产物层的一个或更多个特性来调节PHT工艺；

进行PHT工艺以去除所述基底上的所述副产物